高真空擋板閥主要性能指標參數(shù)
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高真空擋板閥適用范圍：
1×10-6Pa～1.2×105Pa（波紋管密封）
1×10-5Pa～1.2×105Pa（氟膠圈密封）
打開時閥板上的壓差：
≤1.2×105 Pa任意方向
高真空擋板閥閥體和閥座漏率：≤1.3×10-7Pa·L·s-1
建議首次維修前循環(huán)次數(shù)： 200，000次
閥體烘烤溫度：≤150℃
安裝位置
-手動驅動：任意-氣動驅動：任意
-電磁驅動：任意（波紋管密封）；密封面朝向真空（氟膠圈密封）
電源
-氣動驅動：交流220V 50Hz，6W或直流24V，3W（特殊規(guī)格可定做）
-電磁驅動：交流220V或230V 50Hz，起動功率800W、保持功率8W
壓縮空氣（只適用于氣動）：
0.4～0.7MPa
閥門開啟和關閉時間-氣動驅動：≤1s
-電磁驅動：開啟≤0.1s；
關閉≤1s（氟膠圈密封）、關閉≤0.5s（波紋管密封）
閥門位置指示
-手動驅動：帶有啟閉位置指示
-氣動驅動：帶有啟閉位置指示開關（磁性開關）
-電磁驅動：帶有開啟位置指示燈
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